針對目前勻膠機市場品牌眾多，良莠不齊現象，筆者結合自己多年從事勻膠機技術服務的實際經驗。幫助廣大用戶提高辨別能力，為用戶提供了直觀明確的選擇標準。

 

　　1、旋轉速度：轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤勻膠機圖冊差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的大部分低端勻膠機只能提供轉速范圍，并不能標定實時的轉速。

 

　　2、真空吸附系統的構造

 

　　真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成*堵塞。用過國產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題，這一點許多國外的勻膠機做得不錯，他們有通過聯動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉。

 

　　3、材質的選擇

 

　　勻膠機對于半導體化工行業的應用來說，材質的選擇尤為關鍵，國產的大部分勻膠機采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質，因為這種材質的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯（特氟隆）材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。

 

　　勻膠機的特點

 

　　（1）電機勵磁和電樞分開供電。勵磁用12伏直流穩壓電源供電，電樞用運放控制調速，它比可控硅調速*，故其轉速在500-8000轉/分范圍內非常穩定

 

　　（2）本勻膠機有兩檔轉速。在啟動之后，先以低速運轉，然后自動變到高速運轉。兩檔速度及運行時間分別可調。

 

　　（3）本勻膠機采用光電檢測，數字電路測速，對電機的轉速檢測快速準確。電機穩速方面采用了光電隔離的精密負反饋電路，使整機在高達8000rpm以上轉速時仍十分穩定，有力的保證了勻膠質

 

　　（4）“吸片”采用電子開關控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個氣泵可同時帶幾臺勻膠機工作，提率。

 

　　（5）勻膠機定時采用可調定時電路控制，面板上調節timer旋鈕即可改變勻膠時間。

 

　　（6）在安裝結構上，采取了減震措施，因而勻膠機在運轉時噪音很低。

 

　　（7）電磁閥與電機運行有連鎖功能，電磁閥未動作不能啟動電機運行，本次勻勻膠機未停不能進行下次勻膠，若運行中誤按“control”鍵也不能停止吸氣，即不會產生跑片。